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SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B极限真空度为 吸气口防返油阀设置，入口过滤装置。
<0.5mbar (无气镇分压强)
<1.5mbar (带气镇分压强)
SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的极限真空度为
<8×10-2mbar (无气镇分压强)
<7×10-1mbar (带气镇分压强)
排水蒸气能力：0.3～23公斤/小时
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