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结构原理：半导体压敏电阻式进气歧管绝对压力传感器，其压力转换元件是利用半导体的压阻效应制成的硅膜片。硅膜片的一面是真空室，另一面导入进气歧管压力。硅膜片约为3mm的正方形，其中部经光刻腐蚀形成直径约2mm、厚约50mm的薄膜，薄膜周围有4个应变电阻，以单臂电桥方式连接。由于薄膜一侧是真空室，因此薄膜的另一侧即进气歧管内绝对压力越高，硅膜片的变形越大，其应变与压力成正比，附着在薄膜上的应变电阻的阻值随应变成正比地变化，这样就可以利用单臂电桥将硅膜片的变形变成电信号。因为输出的电信号很微弱，所以需用混合集成电路进行放大后输出。这种压阻式进气压力传感器输出的信号电压，具有随进气歧管绝对压力的增大呈线性增大的特性。
压敏电阻式进气压力传感器的工作原理：由应变电阻R1、R2、R3、R4,它们构成惠斯顿电桥并与硅膜片粘接在一起。硅膜片在歧管内的绝对压力作用下可以变形，从而引起应变电阻R阻值的变化，歧管内的绝对压力越高，硅膜片的变形越大，从而电阻R的阻值变化也越大。即把硅膜片机械式的变化转变成了电信号，再由集成电路放大后输出至ECU。
SM5420绝压型压力传感器：SM5420是一种小型的SO - 8封装的绝压型压力传感器。该产品是美国SMI的产品，它在SM5108传感芯片的基础上进行优化，其精准度更高，并对其包装方式进行改进，采用了单个小包装方式。该产品采用MEMS的生产工艺和高性能测试方法，从而限度保障其工作稳定性，已保证其优越的性能，。具有灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等特点，因而该传感器已大批量应用于成本较低的领域。其中在进气歧管绝对压力传感器方面SM5420芯片就得到了典型的广泛应用！
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SM5420工作特性及规格：
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Vexc=5.0 T=室温 |
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备注： | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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* 电桥可采用正压或负压驱动；正压驱动输出正信号 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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