超声波加湿器报价此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响；较低的相对湿度（约30%）使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷（HMDS）。

在半导体洁净室中控制相对湿度不是随意的。但是，随着时间的变化，回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。到目前为止，在半导体洁净室中迫切需要适度控制的是光刻胶的敏感性。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是严格的。

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1741 次湿度名词解释 加湿工程常用基本术语 [2006-11-27]空气的组成就 加湿工程设计来说，空气被看作由纯的干空气和水蒸气两部分组成。
   
湿度的定义是：空气中湿气的含量
   
这种湿气必须是水蒸气的形式，没有蒸发成水蒸气状态的的可视水滴不会影响湿度。相对湿度这个名词是指"在一定的温度下，某一体积空气中的实际含水量与该空气限度的含水饱和量之比，用百分比（ % ）表示"。