超低温R14。R-14制冷剂,别名R14、14、PFC-14,商品名称有Freon 14等,中文名称四氟化碳、全氟化碳,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14属于fc类物质——对没有破坏、但存在温室效应;目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
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主要用途:理化性质:包装运输:质量标准:
r14
R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合的重要组分。四氟化碳(四氟)是目前微电子工业中用量的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、、、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的等方面也大量使用。
(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane ),亦称四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。
相对分子量:88.00。
在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。
沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。
液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5Mpa)1.0006。挥发性较高,是稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒,危险性类别为第2.2类不燃气体。
四氟甲烷对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5Mpa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。钢瓶包装(14MPa)(DOT-3AAGB-5099),阀门(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。
产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4)
指标名称 | 高纯级 | 优级品 | 一级品 |
,%(v/v),≥ | 99.99 | 99.9 | 99 |
,%(v/v),≤ | 0.002 | 0.03 | 0.3 |
,%(v/v),≤ | 0.0005 | 0.01 | 0.1 |
,,≤ | 5 | 5 | 10 |
,,≤ | 5 | 10 | 800 |
氟化碳,,≤ | 15 | 20 | - |
,(HF)ppm,≤ | 0.1 | 1 | - |
,,≤ | - | - | 600 |
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