电离真空计
利用某种手段使进入规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成离子流，由于被测气体分子所产生的离子流在一定压力范围内与气体的压力呈现出正比关系 , 通过测量离子流4-1的大小就可以反映出被测气体的压力值。电离真空计可用于测量低于10-1Pa的高真空测量 , 按电离方式不同分为三类：
(1) 热阴极电离真空计
依靠高温阴极热电子发射激发气体分子使之电离的原理工作，应用为广泛。因阴极构造不同又有直热式和间热式之分。
(2) 冷阴极电离真空计
以冷阴极取代热阴极作为离子源，俗称冷规。这种规管中的电子是在平行电磁场或正交电磁场作用下维持放电，又称为磁放电真空计。
(3) 放射性电离真空计
以放射性物质发出的α粒子或β粒子对气体的电离作用而制作的一种真空计。
电离真空计的测量结果与气体种类有关，使用时应注意气体的相对灵敏度。
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