膜层材料与蒸发源材料的湿润性
多数蒸发材料在蒸发温度时呈熔融状态，它们和蒸发源支持体表面会形成三种不同的接触状态，及湿润、半湿润和不湿润。这是由两种材料间的表面张力的大小决定的。湿润大的时候，高温熔化的薄膜材料容易在蒸发源材料上展开，蒸发会在较大面积上发生，其蒸发状态稳定，且蒸发材料与支持体间黏着良好，可以认为是面蒸发源的蒸发。湿润小的时候，认为是点蒸发源蒸发，此时蒸发材料容易从蒸发源上掉下来。半湿润情况介于上述两种情况之间。图3为表示蒸发源材料和膜层材料的湿润状态。
图3 蒸发源材料和膜层材料的湿润状态
电阻式加热蒸发源的形状
根据膜层材料的性质，蒸发量及其与蒸发源材料的湿润性，电阻式加热蒸发源可以制作成不同形状，如图4所示。
图4 几种电阻蒸发源的形状
丝状和螺旋丝状蒸发源：可以是单股丝或多股丝。a和b中的结构适合蒸镀小量的，具有极好湿润性的蒸发源，如铝。
螺旋锥形和篮式蒸发源：如c和d的结构，一般用来蒸发粗颗粒或块状电解质或金属和不易与蒸发源相湿润的材料。箔盘状和槽状蒸发源，如e，f和g，是用钨、钽和钼的片状或块状材料加工成的蒸发盘和蒸发舟。厚度一般为0.13-0.38mm，也可以蒸发不湿润蒸发源的材料。这些蒸发源有坑槽，膜层材料放置在坑槽内，受热后在坑槽内形成熔池。其特点是接近面蒸发源，发射的蒸气限于半球面，装料量比较经济。只有少量的膜层材料时，适合使用这种蒸发源装置。

此外还有射蒸发温度不是很高，但与蒸发源材料容易发生反应的材料适合在用石英、玻璃、氧化铝、石墨等制作的坩埚中间接加热蒸镀。

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