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去离子纯化水设备又称为超纯水设备或高纯水设备，既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。 超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm
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