东莞市品雅真空设备有限公司干式罗茨真空泵吸气级内流动的瞬态模拟
　　1、基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型。模拟结果与抽速曲线对比，入口压力为1000Pa时误差为11.5%，100Pa时误差为34.2%，表明计算流体力学(CFD)方法不适用于入口压力较低及极限真空时真空泵内的流动研究，但在入口压力较高时具有较好的数值精度。
　　2、由于干式真空泵的主要设计问题多集中于入口压力较高，负荷较大的运行工况，应用CFD方法研究干式真空泵的流动特性具有实用价值。
　　3、干式真空泵作为核心装备广泛应用于半导体产业、太阳能电池制造、化工、制药等重要行业，其研发和生产越来越受到重视。干式真空泵有多种结构形式，其中主要有多级罗茨式、多级爪式、组合式(罗茨+爪型)和螺杆式等，抽气过程中气体的温度和压力存在复杂的变化。目前，除制造装配要求精度高、加工难度大等制约因素外，设计理论也亟待提高，如转子热变形及对间隙的影响、空气动性噪声的产生与控制、颗粒物的抽除及在腔内的运动等问题都值得深入分析，因此，对泵腔的流场进行研究具有重要意义。
　　4、近年来，计算流体力学(CFD，Computational Fluid Dynamics)发展迅速并被应用于流体机械内部流场的研究。在真空技术领域也不断有CFD的应用成果被报道，Boulon和Cheng等研究了复合分子泵Holweck排气级和涡轮增压泵内的流动模拟问题；Wang等对不同运转条件下蒸汽喷射泵的性能进行了数值计算，此文以多级干式真空泵的罗茨型吸气级泵腔为研究对象，基于CFD通用软件ANSYS-CFX并采用动网格方法对泵内的瞬态流动进行了数值计算，讨论了CFD方法的适用性，分析了气体的流动现象和流场分布，为进一步研究干式真空泵内的物理过程和理论问题进行了有益的尝试。

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