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MEMS烟雾气体传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体气敏材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点
本品采用MEMS工艺，结构坚固，对烟雾、丙烷灵敏度高；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等优点。
主要应用
广泛适用于家庭用烟雾报警器、工业用烟雾报警器以及便携式烟雾检测仪器。
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